当冷等静压机出现故障时，可以按照以下步骤自行检查：

1. 检查气路系统：确保气路系统没有泄漏，特别是高压管路部分。如果有泄漏，应立即修复或更换相关部件。

2. 检查压力容器：检查压力容器是否保压。如果压力容器不能保压，可能存在泄漏问题，需要进一步检查和修复。

3. 检查排气开关：确保排气开关处于关闭状态。如果排气开关未关闭，会导致气体无法正常流动，进而影响等静压机的正常工作。

4. 检查慢速放气阀：慢速放气阀应该开得足够大。如果慢速放气阀过小，会影响等静压机的压力控制。

5. 检查工艺程序中的压力偏差带：如果压力偏差带设定太小，可能会导致等静压机无法正常工作。应检查并调整压力偏差带的大小，确保其在合适的范围内。

6. 检查气瓶压力：确保气瓶压力足够。如果气瓶压力过低，会影响等静压机的正常工作。需要检查气源压力是否大于7MPa。

7. 检查以往的报警是否已经排除并复位：如果有未排除的报警，等静压机可能无法正常工作。需要检查并排除所有报警，并确保报警已经复位。

8. 检查压缩机的过热保护是否被启动及排除：如果压缩机的过热保护被启动，会导致等静压机无法正常工作。需要检查并排除过热保护启动的原因。

以上步骤完成后，如果等静压机仍然无法正常工作，建议联系专业技术人员进行检查和维修，以确保等静压机能够正常使用。